专利名称：一种MO源系统管路专利类型：实用新型专利
发明人：周圣伟,郭晃亨,张家宏,林兓兓申请号：CN201520117808.8申请日：20150227公开号：CN204477694U公开日：20150715
摘要：本实用新型涉及一种MO源系统管路，利用新增加的管路三连通管路一和管路二，并且连接点与第一手动阀和第二手动阀距离较小，促使在更换MO源时利用H/N气体冲抽管路过程中，气流无需往返循环，使得利用较少的冲抽次数即可将管路冲抽干净；此外，在管路三中增加扇叶结构，使气流运行过程中形成涡流，更易将管路内壁面清洁干净。本实用新型有效缩短冲抽操作时间，提升生产的稼动率；改善了冲抽后管路内壁面的洁净度，减小了更换MO源后导致后续生长的LED光电特性异常的风险。
申请人：安徽三安光电有限公司
地址：241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
国籍：CN
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