一种高真空系统密封装置

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201220448034.3 （22）申请日 2012.09.05

（71）申请人 常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司

地址 213000 江苏省常州市新北区创业路16号粤海工业园2号A座和B座标准厂房

（10）申请公布号 CN202812405U

（43）申请公布日 2013.03.20

（72）发明人 范多旺;牛晓山;牛进虎;杨书本;范多进;令晓明 （74）专利代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 汤东凤

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种高真空系统密封装置

（57）摘要

本实用新型公开了一种高真空系统密

封装置，其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵，所述的冷凝罩中装有低温盘管；所述的高真空翻板阀包括：驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板，所述的驱动气缸由自动控制动作，驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的

通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。 法律状态

法律状态公告日2013-03-20 2013-03-20 2017-10-27

法律状态信息

授权 授权 专利权的终止

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授权 授权

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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