一种量测机台监测图规格界限设定的方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310099835.2 （22）申请日 2013.03.26

（71）申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN104078381A

（43）申请公布日 2014.10.01

（72）发明人 马瑾怡;曹艳;简维廷

（74）专利代理机构 北京市磐华律师事务所

代理人 董巍

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种量测机台监测图规格界限设定的方法

（57）摘要

本发明涉及一种量测机台监测图规格界限

设定的方法，所述方法根据所述机台特性参数、所述机台运行过程中的实际现状以及所述机台上线状态下的量测要求，来设定所述机台的规格界限，以满足所述机台的量测性能以及生产量测需求。本发明所述方法的优点在于：（1）使得每张监测图设定合理的规格，能够灵敏地侦测到机台的异常状况；（2）使得机台过程能力指数实际工程能力指数Cpk控制在合理的范围内，方便机台

过程能力指数Cpk的审核；（3）结合统计和工程判断，将每张控制图分类，使得每种类型的控制图都能有相应的处理改善方法；（4）通过完整的流程，得以实现自动化控制。来识别归类机台的不同问题。

法律状态

法律状态公告日

2014-10-01 2014-10-01 2014-10-29 2014-10-29 2018-07-20

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

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实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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