专利名称：光掩模清洗机专利类型：实用新型专利发明人：黄峰,辛海峰
申请号：CN201320355807.8申请日：20130620公开号：CN203484365U公开日：20140319
摘要：本实用新型公开了一种光掩模清洗机，该光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，所述光掩模清洗机还包括与去离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。本实用新型光掩模清洗机通过显示屏的GUI界面进行清洗程序的设置、更改和选择，有助于操作人员对整个清洗程序的监控；执行控制模块有效的简化了设置清洗方案流程，提高工作效率；中央控制器为各个步骤提供了更为精确的时长设定。
申请人：无锡华润微电子有限公司
地址：214061 江苏省无锡市梁溪路14号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：常亮
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