一种等离子体增强化学气相沉积法制备多孔碳膜的方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510888521.X （22）申请日 2015.12.04

（71）申请人 大连理工常州研究院有限公司

地址 213164 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城大连理工大学常州研究

（10）申请公布号 CN105448542A

（43）申请公布日 2016.03.30

院B座215室

（72）发明人 黄昊;吴爱民;冯晨辰;丁昂 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

H01G11/86; H01G11/32; C23C16/44;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种等离子体增强化学气相沉积法制备多孔碳膜的方法

（57）摘要

一种等离子体增强化学气相沉积法制备多

孔碳膜的方法，属于电化学和新能源材料领域，该方法步骤包括：将清洗后的泡沫镍材料放入等离子体增强化学气相沉积设备的基片台上；抽真空，并加热设备中基片台；开启等离子体增强化

学气相沉积设备；向等离子体增强化学气相沉积设备中通入工作气体，其工作气体包括放电气体、碳源气体；开始放电，电离工作气体，产生等离子体，分解碳源气体，在泡沫镍材料上沉积多孔碳膜；放电结束，关闭设备降温。本发明制备的多孔碳膜形貌及孔径可控，具有相同比表面积，与基体的结合性、重复性好，该多孔碳材料作为超级电容器的电极材料表现出良好的双电层特性。简化了工艺步骤、降低了成本、同时减轻了对环境的污染。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2016-03-30 公开 2016-03-30 公开

2016-04-27 实质审查的生效 2016-04-27 实质审查的生效 2016-07-13 著录事项变更 2016-07-13 著录事项变更

2020-03-10

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 著录事项变更 著录事项变更

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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