专利名称：测试图案产生系统及方法专利类型：发明专利
发明人：田福安,黄旭霆,刘如淦申请号：CN201911036040.0申请日：20191029公开号：CN111125995A公开日：20200508
摘要：本揭露的实施例提供用于产生测试图案的系统和方法。在不同实施例中，系统和方法利用机器学习使其符合特定于半导体制程或特殊元件型态的设计规则。一种测试图案产生系统，包含测试图案产生电路，其在使用时包括以下步骤：接收杂讯影像；根据杂讯影像产生图案影像；以及根据图案影像产生测试图案，测试图案由电子元件设计布局的复数个几何形状所表示，其中电子元件设计布局不具有设计规则检查错误。
申请人：台湾积体电路制造股份有限公司
地址：中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
国籍：CN
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：徐金国
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