专利名称：飞秒激光真三维微纳加工中心专利类型：发明专利
发明人：赵万华,薛飞,李涤尘,陈烽申请号：CN200610104819.8申请日：20061030公开号：CN1947917A公开日：20070418
摘要：本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心，沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜，反射镜与输出光束的负向夹角为45°，沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台，在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜，并在反射镜上方设置CCD传感器，飞秒激光产生放大系统、多轴联动微动工作台、CCD传感器和LCD监视器连接在工控机上。该加工中心能够加工高熔点、高硬度和高脆性等特种功能材料的微纳尺度真三维结构件。
申请人：西安交通大学
地址：710049 陕西省西安市咸宁路28号
国籍：CN
代理机构：西安通大专利代理有限责任公司
代理人：陈翠兰
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