专利名称：清洗槽专利类型：发明专利
发明人：赵宝君,张伟锋,夏楠君,祝福生,范文斌申请号：CN201910479258.7申请日：20190603公开号：CN110137116A公开日：20190816
摘要：本发明提供了一种清洗槽，涉及半导体晶圆加工的晶圆清洗技术领域。清洗槽包括槽体和水阻率检测装置；槽体的侧壁上设有出水孔，水阻率检测装置设置在出水孔；槽体的至少其中一侧的侧壁的上沿形成溢流口；水阻率检测装置包括进水口和出水口，水阻率检测装置的进水口与槽体的出水孔连通；水阻率检测装置的出水口低于槽体的溢流口，且水阻率检测装置的出水口高于水阻率检测装置的进水口。解决了现有技术中，水阻率检测装置对清洗槽内的水质的水阻率检测达不到准确度要求的技术问题。本发明的水阻率检测装置的出水口低于槽体的溢流口，能够保证对清洗槽内水质的水阻率的准确检测。
申请人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
地址：100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号
国籍：CN
代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：王娜
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