（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910338529.7 （22）申请日 2019.04.25
（71）申请人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定区普惠路200号
（10）申请公布号 CN110184655A
（43）申请公布日 2019.08.30
（72）发明人 徐慧军;庄俞佳;王浩;李翔宇
（74）专利代理机构 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 孙佳胤
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
晶圆的表面氧化方法
（57）摘要
本发明提供了一种晶圆的表面氧化方法，
采用立式炉管的退火炉，所述立式炉管包括设置在侧壁一侧上的进气管路，所述进气管路包括靠近立式炉管底部设置的进气端，以及靠近立式炉管顶部设置的出气端，所述晶圆叠置于所述立式炉管中，包括如下步骤：升温步骤，在氧化气氛中进行，从一起始温度升温至目标温度，升温速率大于5℃/分钟，并同时使晶圆平转，以在晶圆表面生成第一氧化层，所生成的第一氧化层中心
厚度小于边缘厚度；恒温氧化步骤，在目标温度以及氧化气氛中进行，并同时使晶圆平转，在晶圆表面继续生成第二氧化层，所生成的第二氧化层中心厚度大于边缘厚度。
法律状态
法律状态公告日
2019-08-30 2019-08-30 2019-09-24
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
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权利要求说明书
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说明书
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