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一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法

2021-10-07 来源:客趣旅游网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN201110439202.2 (22)申请日 2011.12.23

(71)申请人 保定天威英利新能源有限公司

地址 071051 河北省保定市高开区复兴中路3055号

(10)申请公布号 CN102489468A

(43)申请公布日 2012.06.13

(72)发明人 赵强;李龙

(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 逯长明

(51)Int.CI

B08B3/04; B08B3/08;

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法

(57)摘要

本发明实施例公开了一种石墨材质基板表

层氮化硅的清洗方法,包括:在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗,直至去除石墨材质基板表层的氮化硅。本发明所提供的方法采用化学方法去除氮化硅,即:利用氢氟酸与氮化硅的化学反应来清洗氮化硅,由于氢氟酸不与石墨发生反应,所以不会对

石墨材质的基板造成影响,保持了基板原有的物理性质,不会降低基板的使用寿命。

法律状态

法律状态公告日

2012-06-13 2012-07-11 2015-06-24

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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公开

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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