专利名称：一种大流量自动混气装置专利类型：实用新型专利发明人：周礼誉
申请号：CN201820313989.5申请日：20180307公开号：CN208340520U公开日：20190108
摘要：本实用新型公开了一种大流量自动混气装置，包括壳体，所述壳体内腔固定安装有缓冲管路，所述缓冲管路侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管、第二混气管、置换吹扫管、混气主管路仪表、尾气排放管、隔离阀、缓冲管路仪表和缓冲支管，所述第一混气管从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器和第一管路单向止回阀，所述第二混气管从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀、第二混气管路减压装置、第二混气管路仪表、第二混气管路热式质量流量控制器和第二管路单向止回阀，可以通过仪表相互比对、校核提高混气准确率。
申请人：上海兄弟微电子技术有限公司
地址：200120 上海市浦东新区浦三路3699、3721号1幢3楼
国籍：CN
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