专利名称：真空阀专利类型：发明专利发明人：系谷孝行
申请号：CN201080064617.X申请日：20100224公开号：CN103026444A公开日：20130403
摘要：技术问题：提供一种真空阀，其能减小因固定侧电极与可动侧电极的接触情况的不同而产生的接触阻力的个体差异。技术方案：本发明的真空阀包括：真空容器（1、2、3、8）；一对电极（5、6），这一对电极（5、6）以能接触、分离的方式相对地配置在真空容器内；以及加强板（10、11），该加强板（10、11）配置在一对电极相互相对的相对面的背面侧。此外，其特征是包括电极的变形吸收构件（5e），该变形吸收构件（5e）在电极与加强板之间被固定在电极和加强板上。
申请人：三菱电机株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容