专利名称：集成电路器件及其制造方法专利类型：发明专利发明人：郑镛国,朴起宽申请号：CN201710462835.2申请日：20170619公开号：CN107527910A公开日：20171229
摘要：本公开提供了集成电路器件及其制造方法。一种集成电路器件包括：第一鳍型有源区，在基板的第一区域中，第一鳍型有源区具有第一凹陷，该第一凹陷填充有第一源极/漏极区；第一器件隔离层，覆盖第一鳍型有源区的两个下部侧壁；第二鳍型有源区，在基板的第二区域中，第二鳍型有源区具有第二凹陷，该第二凹陷填充有第二源极/漏极区；第二器件隔离层，覆盖第二鳍型有源区的两个下部侧壁；以及鳍绝缘间隔物，在第一器件隔离层上，鳍绝缘间隔物覆盖第一源极/漏极区下面的第一鳍型有源区的侧壁。
申请人：三星电子株式会社
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：王新华
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