专利名称:带有光程扫描位置和速度校正的光学相干域偏振测
量装置
专利类型:发明专利
发明人:杨军,吴冰,苑勇贵,闫德凯,彭峰,苑立波申请号:CN201410120591.6申请日:20140328公开号:CN103900797A公开日:20140702
摘要:本发明提供的是一种带有光程扫描位置和速度校正的光学相干域偏振测量装置。包括宽谱光源、待测偏振器件、光程相关器、光程扫描校正装置、干涉信号检测与处理装置,其特征是增加的光程扫描校正装置由激光光源、光纤3×3耦合器、光程扫描装置中的移动反射镜、法拉第旋镜、光电探测器构成;光纤3×3耦合器对干涉信号进行移相完成Michelson型光纤干涉仪的无源信号调制;法拉第旋镜用来消除干涉仪的偏振衰落;基于双探测器的校正算法实现对光程扫描位置和速度的高精度和快速测量。该装置提高了光程扫描的精度及均匀性,具有体积小、测量精度高、易与现有应用结构结合等优点,广泛用于基于白光干涉测量远离的干涉光程扫描与测试中。
申请人:哈尔滨工程大学
地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室
国籍:CN
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