VMS-4030G影像仪操作规范

浙江昱辉阳光能源有限公司

文件编号：Q03-PZ-71 版本号：A/0

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影像测量仪操作规范

一、

目 的：

生效日期: 2008 年11月 22日

为正确、规范的指导测试人员进行影像测量仪操作，特制订本规范。 二、

范 围：

适用于本公司内影像测量仪操作指导。

三、依 据：

影像测量仪使用说明书。 四、

权责单位 品质部计量室。 五、

使用环境：

1、温度：0℃～40℃ 相对湿度：≤85%RH。 2、影像测量仪周围应无大量粉尘，无腐蚀性气体。

六、 主要技术参数：

1、X轴测试范围：0.001mm～400mm,精确度：±0.006 mm,重复性：0.003 mm 2、Y轴测试范围：0.001mm～300mm,精确度：±0.006 mm,重复性：0.003 mm

七、

工作原理

光电影像测量是目前较为先进的精密高效测量方法之一，其结构原理是：被测工件由LED表面光或轮廓光照明后，经变焦距物镜、彩色CCD摄影机摄取影像，再通过S端子传送到影像采集卡，PC再读取影像采集卡的数据进行分析处理，图像显示在液晶显示器上，经过M2D专业软件进行瞄准，摄像机取得的影像通过S端子传送十字线产生器，然后以十字经发生器在显示器上产生的视频十字线为基准，对其进行瞄准测量。

批 准 修改履历 页 码

审 核 编 制

内 容

状 态

备 注

浙江昱辉阳光能源有限公司

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影像测量仪操作规范

八、硅片尺寸测量方法及步骤:

生效日期: 2008 年11月 22日

1、将测试挡板固定在影像测量仪的玻璃平面上,使其牢固,不易滑动。 2、调整物镜变胶，使放大后的档板轮廓清晰。

3、把影像测量仪的十字线调到和档板测量接触边重合。

4、仪器X轴归零，调节Y轴，检查仪器十字线和档板测量接触边上下重合是否良好，如出现两边部

分不重合现象，需调节挡板，使之完全重合。完成仪器归零程序。 5、把待测硅片放在影像测量仪的玻璃平面上，使其待测一边和档板接触良好。

6、调节仪器X轴，使十字线和硅片待测另一边重合，此时仪器X轴指示值即为硅片两条边的测量尺

寸值。

7、如需测量硅片的另外两条边尺寸，只需手动变换硅片位置，轻调X轴即可完成测量。 8、测试完成后关闭仪器，切断电源。

九、仪器保养及注意事项

1、仪器应放胡清洁干燥的室内（室温20℃ ±5℃，湿度低于60%），避免光学零件表面坏损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动道轨，影响仪器性能。 2、仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净。

3、仪器的传动机械及运动道轨、应定期上润滑油，使机械运动顺畅，保持良好的使用状态。 4、仪器LED光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，仍请通知厂商由专业人员为您更换

5、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦拭，绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则会使油漆表面失去光泽。

6、仪器所以电气插件、一般不要拔下，如己拔掉，测必须按标记正确插回并拧紧螺丝。