专利名称：一种调节装置及调节组件专利类型：实用新型专利发明人：沈祥江
申请号：CN201521089867.5申请日：20151224公开号：CN205331723U公开日：20160622
摘要：本实用新型提供一种调节装置及调节组件，包括设有水平滑槽和垂直滑槽的组装框架；收容在所述组装框架内、通过水平滑动凸台与所述水平滑槽配合的水平滑块，所述水平滑块设有螺纹配合孔以及水平滑动面；用于贯穿所述组装框架以及螺纹配合孔的调节杆，所述调节杆上设有与螺纹配合孔配合的调节螺纹；所述水平滑块的水平滑动面上放置有与之配合的垂直滑块，所述垂直滑块上设有与所述水平滑动面接触的垂直滑动面以及与所述垂直滑槽配合的垂直滑动凸台。通过采用本实用新型的调节装置及调节组件，提供一种更适用于机台结构且容易安装、可视方便、精确调节的工具，工程师容易操作，保证调节成功率且节省量产时间。
申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所
代理人：余明伟
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容