废气排放管理办法

废气排放管理办法

2012-03-10发布 2012-03-20实施

废气排放管理办法 文件类别： 作业类文件/动力系统管控 文件初始编制者/日期： 胡家伟/文件修订者/日期： 胡家伟/文件审批记录： 文件修改履历： 版本号 Rev A/0 文件新编 更改内容/描述 Description of Changes 发布日期 Release date 基建动力部总监 ESH部经理 部门/职位 副总裁 姓名 1目的与范围

使PM人员，设备运行工程师，系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及减轻废气系统管理不当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废气排放标准安全排放。 2规范性引用文件

中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准 3职责

相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行；

动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放； 4术语和定义

无

5管理内容与治理措施方法 废气污染源分析

废气处理系统所处理排放的废气主要来源于：生产工艺过程包括扩散前清洗（制绒）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清洗、扩散、PEVCD等工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气。 废气处理系统

根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。 5.2.1 一般废气（废热）排风系统

该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。 5.2.2 酸性废气处理系统

酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气，主要污染物为氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；拟设置1套酸性废气处理装置进行处理。

酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，吸收效率为93%～98%。

5.2.2.1酸性废气塔结构原理：

5.2.2.2酸性废气处理流程：

工艺尾气、碱性废气处理系统

工艺尾气、碱性废气主要来源于：PEVCD工艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、工艺尾气中含有微量硅烷等。采用HWR型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。 5.3.1 工艺尾气、碱性废气处理设备结构：

5.3.2 工艺尾气、碱性废气处理流程图：

有机废气处理系统

有机废气主要来源于丝网印刷和烧结过程中产生的有机气体，主要成份为异丙醇等有机物。设置活性炭纤维吸附处理系统进行处理。

采取的活性炭纤维吸附处理系统对VOC的处理效果能达到90%以上，满足《中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准》的要求。 5.4.1有机废气系统处理流程

挥发性有机化合物废气经过活性炭吸附塔，由内部活性炭过滤器吸附，处理后由风机抽引经烟囱排至大气环境。

5.4.2 活性炭吸附塔结构原理：

5.4.3 有机废气处理流程图：

工艺尾气排放分析 5.5.1 工艺废气来源

在电池芯片的加工过程中，工艺尾气主要来自扩散、PECVD、干法刻蚀等工序，尾气中含有微量硅烷等。 应用工艺特殊气体的典型生产工艺为：

(1)扩散：扩散是在硅片表面掺入纯杂质原子的过程。工艺生产过程中分为沉积源和驱赶两步，其化学反应为：

①：5 POCl3 3 PCl5 + P2O5

△ ＞600℃

②：5P2O5 + 5 Si == 5SiO2 + 4P

(2)化学气相沉积（PECVD）：PECVD是在硅片上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅等半导体器件材料，在300～900℃的温度下通过化学反应产生以上物质的过程，其化学反应为：

SiH4 + O2 → SiO2 + 2H2O SiH4 + N2O → SixO2 + N2 + H2 SiH4 + NH3 → Si3N4 + H2

在上述生产工艺中，使用硅烷等多种特殊气体，绝大多数特殊气体参与了反应，所排放的尾气中的主要成份为HCl、HF等。 5.5.2 工艺尾气处理措施

1、对气源柜、注入机反应室、有毒气体间、腐蚀性气体间、氢氟酸配送间、酸液配送间的排风接入酸性废气洗涤系统进行处理后排放。

2、对于在硅片PECVD生产工序中产生的工艺废气，本项目拟采用HWR型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。处理后产生的尾气由风机经排气筒高于地面18米排放。 5.5.3 废气排放统计

酸性/碱性废气、有机废气中主要污染物处理及排放情况见表。从表中可见，经采取上述处理措施后，酸性废气、有机溶剂废气各排气筒主要污染物指标均能达到《大气污染物综合排放标准》GB 16297-1996中二级标准(第二时段)；碱性废气各排气筒的氨也能达到《恶臭污染物排放标准》GB 14554-93的要求。

表－6 工艺废气主要污染物处理及排放情况

排放参数 废气 种类 高度 (m) 排气 总量 (m3/h) 氟化物 酸性废气 ＞18 ≤45000 碱性废气 ＞18 ≤9400 HCl NOx NH3 VOC 有机废气 ＞18 ≤12000 (主要异是丙醇) 排放标准》GB 16297-1996中二级标准(第二时段)。 2. 氮氧化物以NO2计，氟化物以F计。

关于无组织排放

5.6.1 无组织排放是指排气筒高度小于15m或不通过排气筒的废气排放。

5.6.2 洁净车间有较高的颗粒洁净等级要求，因此车间内各股废气量均为有组织排放，基本没有无组织排放的废气。 权责区分

名 称 处理前 污染物 排放 速率 排放 浓度 120 处理后 排放 速率 排放 浓度 评价标准 排放 速率 20 排放 浓度 9 100 240 — 达标 情况 达标 达标 达标 达标 达标 (kg/h) (mg/m3) (kg/h) (mg/m3) (kg/h) (mg/m3) 排放速率<0.6 kg/h或去除率>90% 注：1. 除氨执行《恶臭污染物排放标准》GB 14554-93外，其余均执行《大气污染物综合

5.7.1 对于废气排放的各相关单位及工程师，应该担当各自系统制程，设备清洗等产生废气的管制，要安全有效的排放废气。动力工程部负责废气收集，废气处理，废气排放，废气系统设备，仪表的保养维护，确保系统正常运转，保证处理完后废气达到排放标准。 5.7.2 EHS部门负责监督。 废气排放管理

5.8.1 废气收集系统，处理系统相关设备，仪表，管件由动力工程师及维修人员根据废气系统PM OI进行定期保养维护，并记录各时期自主检查表，确保系统正常运行。 5.8.2 对于废气排放使用之风机，动力工程部应做定期的检修工作。

5.8.3 对于排放出的废气环保局会随时抽测，我们会针对不符合排放标准的废气做相应的改进措施。 5.8.4 定期委外监测

5.8.4.1 监测项目：氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、有机化合物。 5.8.4.2 监测位置：酸/碱排气类型目前均有排放口，每年取样并作记录 5.8.5 处理设备参数设定

5.8.5.1 酸性排气洗涤塔的洗涤水PH值为~11 5.8.5.2 碱性排气洗涤塔的洗涤水PH值为~ 5.8.6废气系统异常情况分析与对策

5.8.6.1主要分为以下异常情况：生产设备异常造成废气排放，致使排放浓度增高；机台正常废气排放，但处理后未能达标。

5.8.6.2 机台异常造成废气排放

5.8.6.3 从所有生产设备使用气体的情况来看，就钢瓶内储存气体量都不大，Exhaust都能满足抽风排气的需求，即生产设备端异常气体泄漏，主要有气体泄漏为酸、碱性气体，会被抽到酸、碱性洗涤塔，分别用NaOH和HCl溶液循环洗涤去除有害类气体，如果因为异常废气排放浓度增大，则可以通过调节洗涤塔内水的PH值（对于酸塔提高PH设定值，对于碱塔降低PH设定值），来提高洗涤塔的处理效率。

非正常工况废气排放处理办法

5.9.1 在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站，然后再开启车间的工艺流程，使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理、废水也能排到废水处理站。 车间停工时，所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站继续运转，待工艺中的废气和废水没有排出之后才逐台关闭。这样，车间在开、停车时排出污染物均得到有效处理，经排气筒排出的污染物浓度和正常生产时基本一致。

5.9.3 废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统设有备用风机（N+1配置）。当废气处理设备出现故障时，工艺生产过程排放的废气将未经处理直接排入大气，造成非正常排放。故障一般能在2小时内修复。

5.9.4 排风系统均设有安全保护电源和报警系统，设备定期检修保养，基本上能保证无故障运行。 日常运行中，若出现故障，检修人员可立即到现场进行维修，一般操作在30分钟内基本上可以完成，预计最长不会超过60分钟。

5.9.6 废气处理系统出现故障，一般采取以下措施： 5.9.6.1 如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。 5.9.6.2 为确保安全，风机仍然继续运转（采用UPS）。 5.9.6.3 风机出现故障时，备用风机立即启动。 6 相关记录：

Q/ZTIS Z02020302-01 《废气异常排放记录表》 7 管理流程图：无 8 附录

附录A：一般酸碱废气异常排放处理流程 附录A：一般酸碱废气异常排放处理流程

一般酸碱废气排放不符合标准

通知厂商做彻底的检修并对 排放物做仔细的分析。

检 查 加 药 系 否 统是否正常 检修加药pump及加药管线，并确认加药tank液位正常. 是 否 检查喷头状况是否 是 否 检查PH电极准确度是否正常 检修喷头及循环管线并清洗过滤网.

先用手提式PH检测仪量测循环水PH度，确认PH sensor误差并做校正. 是 附录B：有机废气处理流程

监测一小时内浓度平均

值超过排放限定浓度

检查活性炭吸附塔是否

堵塞

是

采购活性炭滤筒进行更 换

否 确认风机风压是否正常