专利名称：用于改良电化学电容电压测量准确度及可重复性的
监控装置及方法
专利类型：发明专利
发明人：爱恩·克里斯多夫·玛亚斯,麦克·丝唯妮,哈维·宝沟倪,
克里夫·米顿
申请号：CN03815541.9申请日：20030704公开号：CN1666328A公开日：20050907
摘要：一种用于改良电化学电容电压(EVC)造形测量准确度的装置与方法，其方式是警示操作者蚀刻过程中产生表面薄膜或气泡，使用该就地监控装置在测量循环结束时测定实际测量区域，并使用新值重新计算该数据。通过使区域测量与EVC工具形成整体，可针对该实际测量区域修正每个样品的测量，从而可改良准确度并消除一大的错误源。
申请人：AOTI营运公司
地址：美国俄勒冈州
国籍：US
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
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