专利名称：用于生产多晶硅的装置以及用于控制该装置的方法专利类型：发明专利发明人：罗伯特许德克林ㄦ申请号：CN201080039356.6申请日：20100706公开号：CN102574690A公开日：20120711
摘要：本发明公开了一种用于根据甲硅烷工艺生产多晶硅的系统和方法。提供至少一个反应器（10），至少一个转炉（20），至少一个注入箱（30）和至少一个汽化器（40）。各反应器（10）具有用于新鲜的气体混合物的进气管（11a）以及用于不完全用尽的气体混合物的排气管（11b）。同样地，各转炉（20）包括用于气体混合物的排气管（21）而各汽化器（40）包括用于气体混合物的排气管（41）。用于要测量的样本的若干取样元件（7）提供在各反应器（10）的进气管（11a）和排气管（11b）内，以及各转炉（20）的排气管（21）和各汽化器（40）的排气管（41）内。提取的要测量样本由取样元件（7）经由导管（8）供给至少一个气相色谱仪（2）。
申请人：G+R技术集团股份有限公司
地址：德国里根斯道夫拜恩街16号
国籍：DE
代理机构：上海波拓知识产权代理有限公司
代理人：杨波
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