专利名称：XYY精密定位平台的校准方法专利类型：发明专利发明人：吴刚
申请号：CN200810036208.3申请日：20080417公开号：CN101260967A公开日：20080910
摘要：本发明提供了一种XYY精密定位平台的校准方法，用于在单一流程中全部解决执行器校准、解耦和伸缩传感器校准的问题。所述方法通过在XYY精密定位平台外设置一独立的位置传感器，并依次完成执行器校准、伸缩传感器校准和解耦矩阵校准来实现。该方法充分利用了独立于平台的位置传感器，不但用它来做解耦，还用它来做执行器校准和伸缩传感器校准，此外，利用矩阵运算的叠加性质，还可简化解耦过程。本发明的校准方法校准精度高，速度快，可实现全自动校准，对光刻机而言，不额外增加专用设备，完全利用光刻机中的现有设备就可实现。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所
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