专利名称：一种二硼化物复合涂层及其制备方法和应用专利类型：发明专利发明人：代伟,梁云鹏,王启民申请号：CN202011110125.1申请日：20201016公开号：CN112553580A公开日：20210326
摘要：本发明属于表面防护技术领域，公开了一种二硼化物复合涂层及其制备方法和应用。该方法先在基体上沉积金属过渡层Cr，然后开启装载有MB靶材的磁控溅射电源和装有金属M靶材的电弧蒸发电源，将磁控溅射电源控制在2.5～3kW，电弧蒸发电源的电流控制在80～100A；电弧蒸发镀功率为800～1000W；向腔室内通入氩气，控制真空室内气压为0.6～0.8Pa；将基体的偏压设置为‑100～‑120V，在过渡层Cr上沉积厚度为1～1.2μm的MB/M的纳米多层。本发明的制备工艺简单、成膜质量高、性能稳定、韧性良好，具有较高的硬度与优异的耐磨损性能，可广泛应用于机械加工，模具等产品的表面防护。
申请人：广东工业大学
地址：510062 广东省广州市越秀区东风东路729号
国籍：CN
代理机构：广东广信君达律师事务所
代理人：彭玉婷
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