专利名称：光学反射元件专利类型：发明专利
发明人：中圆晋辅,平冈聪一郎,寺田二郎,古川成男,堀江寿彰,
小牧一树,多田真树,山本雄大
申请号：CN201080017370.6申请日：20100416公开号：CN102405433A公开日：20120404
摘要：光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。
申请人：松下电器产业株式会社
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：李今子
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