（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201810671007.4 （22）申请日 2018.06.26
（71）申请人 长江存储科技有限责任公司
地址 430205 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
（10）申请公布号 CN108831844A
（43）申请公布日 2018.11.16
（72）发明人 张义东;曾最新;谢海波;梁玲 （74）专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司
代理人 骆希聪
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
检测晶圆缺陷的方法和系统
（57）摘要
本发明提供了一种检测晶圆缺陷的方法，
其特征在于，包括以下步骤：获取待检测晶圆的至少一部分的红外热成像图；根据所述红外热成像图，识别所述待检测晶圆的缺陷。本发明提供了一种检测晶圆缺陷的方法和装置，通过获取待检测晶圆的红外热成像图，将待检测晶圆的能量信息转化为图像信息，识别待检测晶圆的缺陷，克服了人工目检的随机性，也无需昂贵的扫描机，提高了晶圆缺陷检测的准确性，降低了成
本。
法律状态
法律状态公告日
2018-11-16 2018-11-16 2018-11-16 2018-12-11 2018-12-11 2019-12-06
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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