专利名称:一种吸盘式快速翻转装置专利类型:实用新型专利
发明人:张学强,戴军,张建伟,罗银兵申请号:CN201820678941.4申请日:20180508公开号:CN208189554U公开日:20181204
摘要:本申请公开了一种吸盘式快速翻转装置,包括工作台和设于工作台上的翻转单元,翻转单元具有一初始位置和一目标位置,初始位置设有一第一输送单元,目标位置设有一第二输送单元,翻转单元用于将第一输送单元上的硅片翻转移送至第二输送单元上,翻转单元包括多个翻转工装,每个翻转工装包括基座和设于基座上的第一驱动机构、被第一驱动机构驱动绕一转轴转动的手臂,手臂的一端设有一吸盘,转轴的一端设有一同步带轮,同步带轮与第一驱动机构通过一同步带连接,通过在第一输送单元和第二输送单元之间设置翻转单元,有效避免在翻转过程中对硅片的损伤,大大提高了产品的合格率。
申请人:罗博特科智能科技股份有限公司
地址:215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
国籍:CN
代理机构:苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:耿丹丹
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