专利名称：一种高纯硫酸的连续生产方法专利类型：发明专利
发明人：王涛,王箫,赵继舟,张雪梅,徐念,徐刚,徐浩,刘松申请号：CN202011586083.9申请日：20201229公开号：CN112279220A公开日：20210129
摘要：本发明公开了一种高纯硫酸的连续生产方法，包括依次进行的发烟硫酸的解析工序、三氧化硫的精制工序、三氧化硫的吸收工序以及真空等离子体脱二氧化硫工序，通过解析获得二氧化硫含量低于0.4%的三氧化硫，通过精制使其中单项金属阳离子含量低于5ppt、二氧化硫低于20ppm；在脱二氧化硫工序中，采用装有填料并配备等离子激发装置的脱气塔，将硫酸自上而下通过脱气塔，使硫酸在填料表面形成降膜，同时自下而上通入氧气和使脱气塔内形成氧‑二氧化硫等离子体，最终获得高纯硫酸。本发明生产效率高，能耗低，污染物排放少、工艺稳定性和安全性好，产品质量稳定，产品品质好，可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀。
申请人：苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司,江苏捷创新材料有限责任公司
地址：215000 江苏省苏州市吴中区郭巷街道尹丰路39号1幢4层408室
国籍：CN
代理机构：苏州创元专利商标事务所有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容