专利名称：一种MEMS芯片及MEMS传感器专利类型：实用新型专利发明人：马贵华,于永革申请号：CN201920697106.X申请日：20190515公开号：CN210007890U公开日：20200131
摘要：本实用新型公开了一种MEMS芯片及MEMS传感器。本实用新型的一种MEMS芯片，所述MEMS芯片设置于包括方形壳体的外部封装结构内，其中，所述MEMS芯片上对应所述方形壳体的角部的位置设置有避让结构。本实用新型的一种MEMS传感器，上述的MEMS芯片及外部封装结构，所述外部封装结构包括方形壳体和基板。本实用新型的MEMS芯片，通过在MEMS芯片对应方形外壳角部的位置设置避让结构，避免在MEMS传感器生产过程中，MEMS芯片与外壳的角部产生冲突，可以提升MEMS传感器的小型化设计，同时保证MEMS传感器的生产良率和后续的可靠性。本实用新型的MEMS芯片可以保证其应用过程中的生产良率及可靠性，本实用新型的MEMS传感器具有小型化设计好，生产良率高，可靠性好的优点。
申请人：歌尔科技有限公司
地址：266104 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
国籍：CN
代理机构：济南立木专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：黄晓敏
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