专利名称：体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器专利类型：发明专利
发明人：李文喆,李玲揆,金德焕,孙尚郁,金哲秀,申济湜申请号：CN201610040724.8申请日：20160121公开号：CN106059524A公开日：20161026
摘要：公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。
申请人：三星电机株式会社
地址：韩国京畿道水原市
国籍：KR
代理机构：北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人：刘奕晴
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