含硅聚电解质声表面波谐振型湿敏元件及其制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201010125466.6 （22）申请日 2010.03.16 （71）申请人 浙江大学

地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

（10）申请公布号 CN101788520A

（43）申请公布日 2010.07.28

（72）发明人 李扬;李朋;杨慕杰

（74）专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司

代理人 韩介梅

（51）Int.CI

G01N27/26;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

含硅聚电解质声表面波谐振型湿敏元件及其制备方法

（57）摘要

本发明公开的含硅聚电解质声表面波谐振

型湿敏元件，是在以ST切石英晶体为基底材料的声表面波谐振器件表面沉积有湿敏薄膜，该湿敏薄膜为3-氨丙基三乙氧基硅单溴代正己烷季铵盐聚电解质薄膜。采用静电喷涂的方法沉积3-氨丙基三乙氧基硅单溴代正己烷季铵盐，随后加热使之缩合聚合形成具有交联结构的含硅聚电解质湿度敏感膜。本发明制备工艺简单，成本低。通过

静电喷涂方法可实现敏感膜的均一、可控沉积，而加热缩聚显著提高湿敏元件的稳定性，所制备的湿敏元件在宽的湿度范围(11～95％RH)内，具有感湿灵敏度高(400Hz/％RH)，响应快，回复性佳，稳定性好等特点，可广泛应用于工农业生产过程，仓储，大气环境监测对于环境湿度精确测量与控制。

法律状态

法律状态公告日

2010-07-28 2010-09-22 2013-04-03

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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