一种超快激光直写制备光栅的装置及方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910945189.4 （22）申请日 2019.09.30 （71）申请人 江苏大学

地址 212013 江苏省镇江市京口区学府路301号

（10）申请公布号 CN110727042A

（43）申请公布日 2020.01.24

（72）发明人 任云鹏;葛亮;任旭东;倪剑;范永胜;陈其杰 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种超快激光直写制备光栅的装置及方法

（57）摘要

本发明公开了一种超快激光直写制备光栅

的装置及方法，涉及激光加工光栅领域，激光器发出的激光束经扩束系统扩束后经聚焦系统进行聚集后辐照在工件上；激光束先经凹透镜发散后再经凸透镜将光束变成平行光束；所述聚焦透镜包括数个聚焦透镜；该方法包括通过使用平凹镜和平凸镜，对激光束进行扩束，扩束后的平行激光在通过聚焦系统时，聚焦系统包括多个聚焦透镜，激光被分别聚焦，形成多个焦点；根据多个

聚焦透镜的焦距相同与不同，分为两种。一种是焦距相同，焦点在同一水平线上，可以直写简单周期光栅；另一种是焦距不同，焦点不在同一水平线上，可以直写复杂周期光栅。本发明克服了多光束激光干涉不易制备微米级光栅和单光束直写效率低的问题。

法律状态

法律状态公告日2020-01-24 2020-01-24 2020-01-24 2020-02-25 2020-02-25 2020-07-17

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 著录事项变更

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实质审查的生效 实质审查的生效 著录事项变更

权利要求说明书

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说明书

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