专利名称：一种晶圆生产切割用冷却设备专利类型：发明专利发明人：高洪庆,吴禹凡申请号：CN202011428944.0申请日：20201209公开号：CN112687580A公开日：20210420
摘要：本发明涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产切割用冷却设备，其通过对晶圆进行自动拦截冷却处理，可方便使晶圆温度快速降低，缩短其冷却时间，提高工作效率，同时避免晶圆长静置冷却时，外界空气中的杂质对其造成的污染，方便对晶圆进行保护，提高实用性和可靠性；包括工作台、四组支腿和三组封板，四组支腿均安装在工作台的底部，工作台的顶部左侧设置有推送装置，三组封板环形均匀安装在推送装置的外侧，三组封板的方向相对，每组封板的外部上侧均设置有两组第一推杆。
申请人：苏州立科工业设计有限公司
地址：215000 江苏省苏州市吴中区石湖西路188号方达广场两楼13楼1301室
国籍：CN
代理机构：苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：陈华红子
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