专利名称：一种水听器专利类型：实用新型专利
发明人：赵晓宏,林挺宇,俞学东,罗九斌申请号：CN201720649049.9申请日：20170606公开号：CN206865720U公开日：20180109
摘要：本实用新型提供了一种水听器，其体积较小，容易制成大规模阵列，灵敏度高，具有线性度好，具有超高的噪声分辨率，包括ASIC晶圆和传感器晶圆，ASIC晶圆包括ASIC电路层和硅衬底层，硅衬底层上形成柱状凸起，传感器晶圆包括硅支撑层，硅衬底层朝上与硅支撑层的下表面真空键合形成空腔，硅支撑层的上表面上形成为上金属导电层、压电材料层、下金属导电层的复合层，上金属导电层和下金属导电层分别向外延伸形成上延伸部和下延伸部，复合层包裹在钝化层中且上金属导电层上端设有与环境声学连通的声进入开口，还包括TSV通孔，TSV通孔上端连接上延伸部和下延伸部，TSV通孔的下端连接焊球。
申请人：纽威仕微电子(无锡)有限公司
地址：214000 江苏省无锡市蠡园经济开发区创意产业园9幢1楼(滴翠路100号)
国籍：CN
代理机构：无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)
代理人：顾吉云
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