2018年清华大学研究生院简介之微电子系
清华大学微电子学研究所于1980年9月由中国国家教育部批准建立，位于清华大学校园内。
全所现有建筑面积约10000平方米，是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的重要组成部分，开展各种领域的微纳电子学研究及集成电路设计、制造、系统集成技术的开发，具有一条较为完备的集成电路开发与工艺试验线，是信息科学国家实验室的组成部分，也是高素质微纳电子科技人才的培养基地。
清华大学微电子学研究所科研与教学设施先进，师资力量雄厚，拥有博士生导师13人。全所在编人员96人（含出国停薪人员），其中正高级14人（中科院院士1人），副高级38人，中级32人，教育职员5人，工人7人。在1988年第一次国务院重点学科评选时，成为全国微电子学领域重点学科点。建所20年来，共培养学士千余名，硕士与博士300多名，向社会输送各层次优秀专业人才共计1300多人。又建立了可以完成IC相关技术全面教育与培训的优良环境，开展了多种类型学位教育及专项技术培训，取得显著效益。根据学科发展的需要，2004年9月清华大学在微电子学研究所的基础上成立了微电子与纳电子学系，进一步提升了教学与科研水平，完善了管理体系。
清华大学微纳电子系\\微电子所学科发展的目标是形成比较完善的硅基微纳电子器件研究体系，确定了4条科研主干，即新材料新工
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艺新器件；高性能集成电路；先进封装和系统集成；传感器与集成系统，凝练出9个重点科研方向：
①低功耗、射频集成电路和医疗微电子； ②可重构通用处理器； ③新型半导体存储器； ④纳米CMOS器件与集成技术； ⑤模型、模拟和CAD技术； ⑥国防和信息安全集成电路； ⑦先进封装和系统集成技术； ⑧硅基智能传感器； ⑨量子信息技术。
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